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Old 10-02-2011, 16:20   #1
Redazione di Hardware Upg
www.hwupgrade.it
 
Iscritto dal: Jul 2001
Messaggi: 75173
Link alla notizia: http://www.businessmagazine.it/news/...euv_35472.html

Un gruppo di ricerca mette a punto una tecnica che permette di ottenere pattern ad elevata risoluzione impiegando la luce visibile al posto della radiazione ultravioletta

Click sul link per visualizzare la notizia.
Redazione di Hardware Upg è offline   Rispondi citando il messaggio o parte di esso
Old 10-02-2011, 18:22   #2
lucusta
Bannato
 
Iscritto dal: May 2001
Messaggi: 6246
bhe', bella idea. alla fine il costo e' dovuto solo nell'accuratezza del posizionamento delle maschere e di un'ottica piu' rifinita, ma si riuscirebero ad ottenere dimensioni quanto grandi si voglioni.
lucusta è offline   Rispondi citando il messaggio o parte di esso
Old 10-02-2011, 19:39   #3
frankie
Senior Member
 
L'Avatar di frankie
 
Iscritto dal: Nov 2000
Città: Varees
Messaggi: 9156
Mi sa che con i laser le maschere non esisterebbero più. E' appunto questo il passaggio fondamentale. Il limite non è la litografia in se stessa ma la diffrazione.

Siccome è inversamente proporzionale alla lunghezza d'onda ecco il perchè dell'UV.

Mi son perso io qualche pezzo o non hanno mai provato a farla ad immersione in liquidi ad alto n (nei microscopi si usa l'olio).
frankie è offline   Rispondi citando il messaggio o parte di esso
Old 10-02-2011, 20:34   #4
Chelidon
Bannato
 
L'Avatar di Chelidon
 
Iscritto dal: Aug 2006
Città: Parma
Messaggi: 2579
Non ho ben capito a cosa ti riferissi con l'olio, ma a quanto ne so la diffrazione è indipendente dall'indice di rifrazione, poi se il problema degli ultravioletti estremi è che vengono assorbiti in maniera non trascurabile dall'aria stessa (è ciò a cui accenna l'articolo) figuriamoci a lavorare in un mezzo più denso.

Per quanto riguarda eliminare la maschera, di fatto lo si fa già se si usano tecniche col fascio elettronico. il punto è che però che qualsiasi scansione costa molto più tempo che impressionare tenendo la maschera, quindi è vero che hai un risparmio di costo e semplifichi un po' il sistema, ma non so se poi non rischi ripercussioni dal punto di vista dei "tempi industriali".

Per quanto si può intendere dalla spiegazione questa sembrerebbe spostare in parte il problema dal limite diffrattivo alla possibilità di spostare finemente il bordo del fascio laser...
Chelidon è offline   Rispondi citando il messaggio o parte di esso
Old 11-02-2011, 06:35   #5
Pleg
Member
 
Iscritto dal: Sep 2007
Messaggi: 265
La diffrazione dipende dalla lunghezza d'onda: se fai passare la radiazione in un mezzo con n piu' alto (come l'olio, o l'acqua) la frequenza si conserva, quindi la lunghezza d'onda si riduce, quindi la diffrazione si riduce.
Pleg è offline   Rispondi citando il messaggio o parte di esso
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