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L'EUV continua ad essere carico di promesse, ma il fatto che ci si lavori da cosė tanti anni ed ancora non sia "pronto" ci fa capire come sia una tecnologia estrema rispetto ai processi basati su lunghezze d'onda maggiori.
Praticamente gli EUV sono pių simili ai Raggi X che alla luce visibile (degradano velocemente un sacco di materiali che con la luce visibile hanno molti meno problemi, problemi di messa a fuoco, problemi con la potenza max della fonte di EUV, ecc.)
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