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Quindi riassumendo:
China:
macchinario DUV opera a una lunghezza d'onda di 193 nanometri (nm), con una
* risoluzione inferiore a 65 nm e una
* precisione di sovrapposizione inferiore a 8 nm.
Paesi Bassi:
ASML ha una
* risoluzione inferiore a 38 nm con una
* precisione di sovrapposizione di 1,3 nm
a parte che recuperare nanometri implica risorse e conoscenze che sono non linearmente collegate alla diminuzione dei nm, si tratta di passare da:
65 nm => 38 nm (risoluzione)
8 nm => 1.3 nm (precisione di sovrapposizione)
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