Hardware Upgrade Forum - View Single Post - Polimeri autoassemblanti per i chip di domani

ArticMan · 19-03-2010, 08:45

Non è proprio così la fotolitografia.
Si toglie il resist e poi si fa l'etching.
Il resist che è rimasto proteggerà la parte coperta, mentre l'altra, scoperta, sarà aggredita.
Il photoresist non è attaccato da questi agenti.

19-03-2010, 08:45	#5
ArticMan Senior Member Iscritto dal: Sep 2002 Città: Roma Messaggi: 2059	Non è proprio così la fotolitografia. Si toglie il resist e poi si fa l'etching. Il resist che è rimasto proteggerà la parte coperta, mentre l'altra, scoperta, sarà aggredita. Il photoresist non è attaccato da questi agenti.