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View Full Version : Fotolitografia ad elevata risoluzione: luce visibile invece di EUV?


Redazione di Hardware Upg
10-02-2011, 16:20
Link alla notizia: http://www.businessmagazine.it/news/fotolitografia-ad-elevata-risoluzione-luce-visibile-invece-di-euv_35472.html

Un gruppo di ricerca mette a punto una tecnica che permette di ottenere pattern ad elevata risoluzione impiegando la luce visibile al posto della radiazione ultravioletta

Click sul link per visualizzare la notizia.

lucusta
10-02-2011, 18:22
bhe', bella idea. alla fine il costo e' dovuto solo nell'accuratezza del posizionamento delle maschere e di un'ottica piu' rifinita, ma si riuscirebero ad ottenere dimensioni quanto grandi si voglioni.

frankie
10-02-2011, 19:39
Mi sa che con i laser le maschere non esisterebbero più. E' appunto questo il passaggio fondamentale. Il limite non è la litografia in se stessa ma la diffrazione.

Siccome è inversamente proporzionale alla lunghezza d'onda ecco il perchè dell'UV.

Mi son perso io qualche pezzo o non hanno mai provato a farla ad immersione in liquidi ad alto n (nei microscopi si usa l'olio).

Chelidon
10-02-2011, 20:34
Non ho ben capito a cosa ti riferissi con l'olio, ma a quanto ne so la diffrazione è indipendente dall'indice di rifrazione, poi se il problema degli ultravioletti estremi è che vengono assorbiti in maniera non trascurabile dall'aria stessa (è ciò a cui accenna l'articolo) figuriamoci a lavorare in un mezzo più denso. :sofico:

Per quanto riguarda eliminare la maschera, di fatto lo si fa già se si usano tecniche col fascio elettronico. il punto è che però che qualsiasi scansione costa molto più tempo che impressionare tenendo la maschera, quindi è vero che hai un risparmio di costo e semplifichi un po' il sistema, ma non so se poi non rischi ripercussioni dal punto di vista dei "tempi industriali". :boh:

Per quanto si può intendere dalla spiegazione questa sembrerebbe spostare in parte il problema dal limite diffrattivo alla possibilità di spostare finemente il bordo del fascio laser...

Pleg
11-02-2011, 06:35
La diffrazione dipende dalla lunghezza d'onda: se fai passare la radiazione in un mezzo con n piu' alto (come l'olio, o l'acqua) la frequenza si conserva, quindi la lunghezza d'onda si riduce, quindi la diffrazione si riduce.